游离二氧化硅是硅肺的致病因素。矽肺的发生和发展与矽尘中游离二氧化硅的含量，矽尘在生产环境中的浓度和分散程度，矽尘的使用年限和机体防御功能有关。矽尘颗粒越小，越分散，在空气中沉降速度越慢，吸入越多，致病性越强。一般来说，一些较大矽尘往往在上呼吸道被堵塞，可以通过呼吸道防御来清除。